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真空bat365官网登录入口镀制TiN十Au+ Si02膜介绍

2021-01-23

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真空bat365官网登录入口 用复合涂层离子镀方法为黄铜电镀亮镍的手表壳镀制TiN十Au+ Si02膜,真空bat365官网登录入口采用电弧、磁控溅射、中频或射频溅射离子镀多功能真空bat365官网登录入口,在真空镀膜室壁上安装6个小平面弧源钛靶镀TiN,中心安装柱状磁控溅射黄金靶镀金,壁上安装2个矩形平面磁控溅射Si02 靶或Si靶镀Si02。采用直流偏压电源。


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(1)工件清洗、上架、入炉。方法同前。
(2)抽真空:本底真空最好达到6.6 x 10-3 Pa,烘烤加热温度为150℃左右。
(3)轰击清洗。方法同前,包括氩轰击和钛轰击两种方法。
(4)镀膜
①沉积钛底层
真空度:通入高纯氩气,真空度保持在5 X 10-2Pa。电弧电流:50~70A,引燃全部弧源,时间为2~3min。偏压:400~500V。
②沉积TiN膜
真空度:通入高纯氮气,真空度保持在s x l0-1Pa。偏压:100~200Vo电弧电流:60~80A。沉积时间:10~20min,膜层厚度0.1~0.5μm。
③掺金镀
真空度:通入高纯氮气,真空度保持在5 x 10-2Pa。偏压:100~150V。电弧电流:60A(真空镀膜室上、中、下各点燃1个源)。磁控溅射金靶电压:400—500V,电流3~5A;时间:1min。
④镀金
真空度:通入氩气,真空度保持在3 x 10-1Pa。偏压:100~150V。溅射靶电压:400~550V。时间:5-10min。
⑤沉积Si02
真空度:通入高纯氩气,真空度8 x 10-2Pa或5x 10-1Pa。中频(射频)电源功率:200~500W。时间:10~20min。
(5)冷却:首先关闭中频(或射频)电源,然后关气源,停转架。工件在真空室内冷却到80-100℃时,向真空室充空气,取出工件。该工艺也叫掺金镀或IPG,最后一层Si02是透明的,是保持金膜的,它可以延长金膜的磨损时间,根据客户的要求可有可无。
真空bat365官网登录入口 镀制TiN十Au+ Si02膜层,和平时镀一些普通的膜层基础步骤类似,但是一些关键的步骤,却是截然不同,因此要想要达到所需的效果,必须要谨慎和细心才可以。