真空bat365官网登录入口
电子束加热原理及特点：真空bat365官网登录入口电子束加热蒸发源是利用热阴极发射电子在电场作用下，成为高能量密度的电子束，直接轰击到镀料上。电子束的动能转化为热能，使被料加热气化，完成蒸发镀膜。
真空bat365官网登录入口电子束加热蒸发的优点：
①bat365官网登录入口电子束加热比电阻加热具有更高的能量密度，可以蒸发高熔点材料，如W、Mo，Al2O3等，并可得到较高蒸发速率；
②被蒸发材料置于水冷铜坩埚内，可避免坩埚材料污染，可制备高纯薄膜；
③电子束蒸发粒子动能大，有利于获得致密、结合力好的膜层。
真空bat365官网登录入口电子束加热的缺点：
①结构较复杂，设备价格较昂贵；
②若
真空bat365官网登录入口
蒸发源附近的蒸气密度高，bat365在线登录网站电子束流和蒸气粒子之间会发生相互作用，电子的能量将散失和轨道偏移。同时引起蒸气和残余气体的激发和电离，会影响膜层质量。
