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真空bat365官网登录入口金属件装饰膜PVD镀制工艺

2020-12-10

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真空bat365官网登录入口 金属件PVD装饰膜镀制工艺,主要为在装饰产品设计。例如大型板材管材、家具装饰品上镀保护膜,bat365在线登录网站镀膜后的产品能够展现出雍容华贵、光彩夺目等各种各样的美丽效果,并且膜层耐磨损不褪色。


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1.装饰件材料(底材)
(1)金属。不锈钢、钢基合金、锌基合金等。
(2)玻璃、陶瓷。
(3)塑料。ABS、PVC、PC、SHEET、尼龙、水晶等。
(4)柔性材料。涤纶膜、PC、纸张、布、泡沫塑料、钢带等。
2.装饰膜种类
(1)金属基材装饰膜层:TiN、ZrN、TiC、CrNx、TiCN、CrCN、Ti02、Al等。
(2)玻璃、陶瓷装饰膜层:TiO2、Cr2O3、MgF2、ZnS等。
(3)塑料基材装饰膜层:AI、Cu、Ni、Si02、Ti02、ITO、MgF2。
(4)柔性材料装饰膜层:Al、lTO、Ti02、ZnS等。
真空bat365官网登录入口用磁控溅射离子镀技术为黄铜电镀亮铬的卫生洁具镀制ZrN膜。bat365在线登录网站采用基材为锆的非平衡磁控溅射靶和中频电源,以及脉冲偏压电源。
(1)抽真空
5 X 10-3~6.6 x 10-13Pa本底真空。bat365在线登录网站加热温度应在真空室器壁放气后又回升到100~150℃。
(2)轰击清洗
真空度:通人氩气真空度保持在2~3Pa。轰击电压:800~1000V,脉冲占空比20%。轰击时间:10min。
(3)镀膜
①沉积锆底层
真空度:通入氩气,真空度保持在s x l0-1Pa。靶电压:400—550V,靶功率15 N 30W/Crrr2。脉冲偏压:450~500V,占空比20 %。镀膜时间:5~10min。
②镀ZrN膜
真空度:通入氮气,真空度保持在(3~5) x 10-1Pa。靶电压:400~550V,靶电流随靶的面积增大而加大。脉冲偏压:150~200V,占空比80 %。镀膜时间:20~30min。
由于 真空bat365官网登录入口 磁控溅射技术中金属离化率低,不容易进行反应沉积,获得化合物膜层的工艺范围比较窄。真空bat365官网登录入口可采用气体离子源将反应气体离化,扩大反应沉积的工艺范围。也可以采用柱状弧源产生的弧等离子体作为离化源,柱状弧源还是辅助镀膜源。