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光学真空bat365官网登录入口常见维修方法

2020-07-09

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常见 光学真空bat365官网登录入口 维修方法,对于镀膜工程师来说,是至关重要的。当光学真空bat365官网登录入口出现故障的时,能及时排查原因,及时解决问题,对于镀膜厂家来说,也是尤为重要。下面汇成真空小编为大家详细介绍一下真空bat365官网登录入口常见的故障及维修方法,希望能帮助到大家。
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1、当正在镀膜时真空度突然下降:
(1)蒸发源水路胶圈损环(更换胶圈)
(2)坩埚被打穿(更换坩埚)
(3)高压电极密封处被击穿(更换胶圈)
(4)工转动密封处胶圈损坏(更换胶圈)
(5)预阀突然关闭可能是二位五通阀损坏(更换二位五通阀)
(6)高阀突然关闭可能是二位五通阀损坏(更换二位五通阀)
(7)机械泵停机可能是继电器断开(检查继电器是否正常)
(8)烘烤引入线电极密封处被击穿(更换胶圈)
(9)挡板动密封处胶圈损坏(更换胶圈)
(10)玻璃观察视镜出现裂纹、炸裂(更换玻璃)