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光学bat365官网登录入口结构和应用领域

2023-09-22

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光学bat365官网登录入口由真空系统,蒸镀系统,冷却系统和电气系统组成,其中真空系统由真空腔体和排气系统组成。真空腔体是bat365官网登录入口的主体,镀膜过程就是在真空罐中完成的,通过连接阀将真空腔体和排气系统相连。


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为了防止空气分子对溅射离子的影响、提高膜层的质量,在工作时,必须将光学元件和离子源置于真空环境中。
排气系统主要由机械泵、罗茨泵和真空泵组成,负责排出真空罐内的气体、使罐内形成真空环境。
蒸镀系统主要指成膜装置部分,bat365官网登录入口器的成膜装置有很多种,如电阻加热、电子枪蒸发、磁控溅射、射频溅射、离子镀等。
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