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电阻蒸发真空bat365官网登录入口镀膜技术介绍

2021-12-12

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蒸发 真空bat365官网登录入口 按照镀膜技术分电阻蒸发bat365官网登录入口,电子束蒸发bat365官网登录入口,感应蒸发bat365官网登录入口,市场应用最普通,最广泛数电阻蒸发bat365官网登录入口了,虽然电阻蒸发工艺,最普通,应用最广泛,但是对于行外人来说,还是很陌生,下面汇成真空小编为大家详细介绍一下,电阻蒸发真空bat365官网登录入口镀膜原理,希望能帮助到大家:


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真空蒸发镀膜法是在真空室中,加热蒸发容器中待形成薄膜的原材料,使其原子或分子从表面气化逸出,形成蒸汽流,入射到固体(称为衬底或基片)表面,凝结形成固态薄膜的方法。
采用钽,钼,钨等高熔点金属,做成适当形状的蒸发源,其上装入待蒸发材料,让气流通过,对蒸发材料进行直接加热蒸发,或者把待蒸发材料放入氧化铝,氧化铍等坩锅中进行间接加热蒸发,这就是电阻加热蒸发法。
利用电阻加热器加热蒸发的bat365官网登录入口结构简单,造价便宜,使用可靠,可用于熔点不太高的材料的蒸发镀膜,尤其适用于对镀膜质量要求不太高的大批量的生产中,迄今为止,在镀铝制镜的生产中仍然大量使用着电阻加热蒸发的工艺。
电阻蒸发 真空bat365官网登录入口 电阻加热方式的缺点是:加热所能达到的最高温度有限,加热器的寿命也较短。近年来,为了提高加热器的寿命,国内外已采用寿命较长的氮化硼合成的导电陶瓷材料作为加热器。据日本专利报道,可采用20%~30%的氮化硼和能与其相熔的耐火材料所组成的材料来制作坩锅,并在表面涂上一层含62%~82%的锆,其余为锆硅合金材料。