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真空bat365官网登录入口深冷捕集泵应用原理

2021-05-13

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真空bat365官网登录入口 有一个部件叫深冷捕集泵,一般专业真空镀膜人员没有提及这个部件的话,好多人几乎都不知道这么一个部件,那么深冷捕集泵到底在真空bat365官网登录入口里面启到什么作用呢?下面汇成真空小编为大家介绍一下真空bat365官网登录入口深冷捕集泵应用原理,希望能帮助到大家:


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在高真空环境中,都存在有一定的残余气体。由于水分子量比氧气,氮气等空气主要成分的分子量都小,因此,无论是油扩散泵还是分子泵,都无法迅速,有效地将其抽出,故而越积越多,最后成为占残余气体65%~95%以上的剩余气体;

同时,由于真空泵在使用过程中不可避免的会产生泵油蒸发现象,会有少量油蒸汽进入真空系统。

由于水蒸气和油蒸汽的存在,导致真空系统无法迅速达到客户使用所需的真空度,导致抽真空时间变长,生产效率下降,所需真空度越高,环境湿度越大,影响越明显。

同时,水蒸气,油蒸汽的存在,会导致膜层牢固度下降,无法多层镀膜,颜色不均一等。
水蒸气在某些条件下还会电离,产生氧气,使靶材氧化,导致镀膜颜色发生变化。环境湿度越大,温度越高,所需真空度越高,影响越大。 因此,水蒸气,油蒸汽是 真空bat365官网登录入口 镀膜领域及高真空获得领域的主要危害气体。