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真空bat365官网登录入口开机,关机注意事项及镀膜系统配置

2020-08-17

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真空 bat365官网登录入口 开机和关机,都会有一些安全隐患和技巧,对于熟悉的工作人员来说,是轻车熟路,但是对人新人来说,为了保证万无一失,是需要重视的。
(1)熟练掌握“真空bat365官网登录入口安全操作规程”。
(2)开机前先检查水、电、气是否正常。(冷却水压力一般可在0.2MPa以上,气在0.4Mpa以上,电压在370-390V)。
(3)开机步骤:气动机械泵,约30s后开前级阀,开复合真空计,待前级抽至10Pa以下且稳定时再开启扩散泵(必须到后面查看以下电炉丝是否发红)。

(4)关机步骤:关电离计,关闭高阀,切断加热器电源,用前级泵抽前级自然降至室温,关前级管道阀,停止机械泵,停冷却水、停电、停气。



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